1. 맥동 최소화
특수한 구조와 구동 메카니즘을 통해 최적의 BELLOWS 동작 구현으로 토출 시 맥동을 최소화하였습니다.
2. 공급 AIR량 감소
성능 저하 없이도 기존 모델 대비 최대 30%의 AIR 소모량 감소를 이루어냈습니다.
3. 압력 유지 능력 강화
최적의 BELLOWS 동작으로 압력 유지 능력을 향상시켰습니다.
특히 싱글 웨이퍼 공정에서 빈번히 발생하는 하중 변화에도 토출량과 압력을 안정적으로 유지합니다.
4. DAMPER가 필요 없음
DAMPER 없이도 안정적인 구동이 가능하므로, 장비 내 공간 및 불소수지 조인트 등의 설치부속품을 절약할 수 있습니다.
장비의 총 중량/사이즈를 줄이는 데에도 도움이 됩니다.
